随着电力电子器件市场对酸腐蚀硅片的需求量的增加，如何制备光泽度较好的酸腐蚀硅片越来越受到关注。为了准确的测定酸腐蚀硅片光泽度，提升酸腐蚀硅片的外观光泽品质，满足市场对酸腐蚀硅片光泽度测需求，就可以使用光泽度仪。本文介绍了光泽度仪在酸腐蚀硅片光泽度测定中的应用。

酸腐蚀硅片光泽度要求：

硅单晶片的表面加工工艺一般分为研磨片、腐蚀片、抛光片等主要成型工艺，由于最终的使用目的不同，以上三种类型的硅片应用在不同的领域；研磨片一般是在切片的基础上双面研磨50-70um，以去除切片时表面留下的线痕等缺陷；腐蚀片主要是去除研磨片加工时形成的损伤层，常规工艺一般去除30um，酸腐蚀片表面光泽度一般在80-120Gs；抛光片是为了改善腐蚀片的平坦性，通过机械化学抛光进一步去除损伤层，使硅片表面达到镜面效果，有较好的光泽度和较小的粗糙度。

近年来，有些产品对硅片表面光泽度要求越来越高，其主要是应用硅片表面的镜面效果；在聚焦时降低能耗，一些生物医学领域制造芯片，以及能源领域的可控硅等用途，因腐蚀片很难达到较好镜面效果，所以这些领域通常使用抛光片；抛光片有较高的表面平整度，较小的粗糙度，较好的镜面效果；但抛光片对加工设备、加工环境和清洗方式、化学辅料等要求较高，相应成本也会较大，这些领域使用抛光片不仅质量过剩，而且增加了成本负担。为了降低成本，提高硅片表面光泽度，提高工艺技术越来越迫切，随着工艺技术进步，酸腐片的表面光泽度的改善已经得到显著的提高，渐得到改善。为了准确的测定酸腐蚀硅片光泽度，提升酸腐蚀硅片的外观光泽品质，就可以使用光泽度仪。

光泽度仪在酸腐蚀硅片光泽度测定中的应用：

传统酸腐蚀硅片光泽度的评定方法是通过目视法进行评定，目视评定法属于一种经验评定方法，它是以实践中积累的经验，通过目视检验来评定，往往受到检验环境照度、检验人员的视觉和经验等因素影响，容易产生干扰而造成评定结果的误差。为了更加准确、客观，且定量的评定酸腐蚀硅片的光泽度，我们就可以采用光泽度仪。

光泽度仪测量酸腐蚀硅片的光泽度一种采用光学法客观测量的方式，它可以有效的避免因为观察者主观原因导致的光泽度评定的误差；并且以数值的方式呈现，用户可以更加轻松的判定酸腐蚀硅片光泽度的差异。这里推荐使用三恩时YG268光泽度仪。YG268是一款高精度光泽度计，是参照国际标准ISO2813和中国国家标准GB/T9754设计制造的光泽度测量仪器，具有自动检查校正标准板的功能，配有高端品质管理软件，满足JJG696一级工作光泽度计要求。具体的测量方法如下：

1.仪器开机

通常我们的光泽度测试仪开机键就是测量键，长按测量键就可以开机！

2.仪器校准

（1）标准板有污损，请用专用镜头布把标准板擦干净，然后把主机扣入底座。

（2）主机未紧贴标准板，请重新扣入底座。

（3）环境温度发生重大变化，应在仪器温度与环境温度趋于相近，并确认仪器测试口内的透镜和底座的标准板没有结露后，重新开机测量。

排除以上原因，主机重新扣入底座，仪器再次自诊断，如果故障排除，显示“OK”，自动进入自校准模式。

3.选择测量模式

为了应对不同的使用环境，YG268光泽度测量仪设置了多种模式，用户可以根据自己的需求自行选择。

4.开始测量

测量时，将光泽度仪测量口径紧贴待测样品表面，不留空隙，避免外界光线的干扰。取多点测量，计算出光泽度测量平均值，然后根据相关行业标准或企业标准进行评定，查看酸腐蚀硅片光泽度是否符合要求。